ULVAC UTM3400A渦輪分子泵
采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過(guò)泵的本體和控制器一體化，實(shí)現(xiàn)了省配線，省空間。
特點(diǎn)
泵體和控制器一體化泵體和控制器之間不需要復(fù)雜的布線工作。
安裝方向自由安裝方向沒(méi)有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
產(chǎn)品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。
廣域大流量設(shè)計(jì)，適用于輕工藝泵速可以在25％至100％的范圍內(nèi)變化，腔室的壓力可以調(diào)節(jié)。
高耐久性和安全性已經(jīng)通過(guò)各種安全確認(rèn)測(cè)試，例如空氣沖擊測(cè)試和觸地測(cè)試。
用途
各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)半導(dǎo)體制造設(shè)備蒸發(fā)設(shè)備濺射設(shè)備分析設(shè)備實(shí)驗(yàn)設(shè)備等研究開(kāi)發(fā)設(shè)備
不會(huì)生成副反應(yīng)物的輕工藝的主排氣系統(tǒng)
替換設(shè)備上的有擴(kuò)散泵
其他一般高真空排氣用途
