Pfeiffer TPH240普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN 100 ISO-K，出氣法蘭口DN25 ISO-KF，抽速可達(dá)到230 L/s，轉(zhuǎn)速為60000rpm，對(duì)應(yīng)的控制器為：Pfeiffer TCP380，Pfeiffer TCP310。
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