Agilent TV401/301 NSF是特殊設計的渦輪分子泵,有時又稱為Varian TV401-301,轉速為60000轉/分鐘,極限壓力:1X10-9pa可以同時抽取兩個腔體的真空
Varian TV401-301 的渦輪轉子采用Varian磚利的“MacroTorr”技術設計加工而成,整個渦輪轉子整體成型,共有由11層葉片組成,前七層為標準葉片,每層的角度從高到低,后四層為Varian 磚利技術的“Macrotorr”碟片組成,渦輪轉子其在分子泵內部以60000轉/分鐘的速度高速旋轉