高速橫向減薄機(jī)
工作原理：
1．本系列橫向研磨機(jī)為精密磨削設(shè)備，由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削，金剛石磨輪前后擺動(dòng)。該方法磨削阻力小、工件不會(huì)破損，而且磨削均勻生產(chǎn)效率高。
特 點(diǎn)：
1．可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2．減薄效率高，LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
3．系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng)，觸摸屏操作面板，
技術(shù)參數(shù)：
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型 號(hào) |
YM-150LX |
YM-180LX |
YM-200LX |
YM-230LX |
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金剛石磨輪尺寸 |
φ150×H25 |
φ180×H25 |
φ200×H30 |
φ230×H30 |
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最大工件尺寸 |
φ150mm |
φ180mm |
φ200mm |
φ230mm |
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磨輪轉(zhuǎn)速（可調(diào)） |
0---1000rpm /分鐘 |
0---1000rpm /分鐘 |
0---800rpm /分鐘 |
0---800rpm /分鐘 |
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工件轉(zhuǎn)速（可調(diào)） |
0---2000rpm /分鐘 |
0---2000rpm /分鐘 |
0---1800rpm /分鐘 |
0---1800rpm /分鐘 |
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磨輪電機(jī)功率 |
1.5KW. 380V 3相 |
1.5KW. 380V3相 |
2.2KW. 380V 3相 |
2.2KW. 380V 3相 |
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真空主軸電機(jī)功率 |
0.75KW. 380V3相 |
0.75KW. 380V3相 |
1.1KW. 380V3相 |
1.1KW. 380V3相 |
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控制精度（平行度） |
1um（φ100mm） |
1um（φ100mm） |
1um（φ100mm） |
1um（φ100mm） |
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外形尺寸 |
1200×550×1550 |
1200×550×1550 |
1350×600×1600 |
1350×600×1600 |
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重 量： |
850kg |
980kg |
1100kg |
1300kg |
