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產(chǎn)品簡介
CVD爐(SiC膜)氣相沉積爐-西尼特(北京)電爐有限公司
CVD爐(SiC膜)氣相沉積爐-西尼特(北京)電爐有限公司
產(chǎn)品價格:¥面議
上架日期:2011-08-18 16:31:22
產(chǎn)地:北京
發(fā)貨地:北京
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
    產(chǎn)品描述:
    CNT公司生產(chǎn)的CVD設(shè)備主要由全真空專用不銹鋼腔體,分子泵高真空系統(tǒng),電源,生長機體載體及溫控系統(tǒng),獨立排氣和生長壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng),冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設(shè)備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜等。
     
    ※技術(shù)指標:
     
     參 數(shù) 名 稱
    單   位
    配置
    沉積類型
     
    碳化硅,氮化硅
    電   源
     
    射頻電源,帶正向功率和反射功率計指示,帶匹配器
    加熱系統(tǒng)
     
    平板式雙反應(yīng)室系統(tǒng),帶加溫和勻氣系統(tǒng)
    工 作 溫 度
    1300~1800℃
    基片臺尺寸
    (φ×H)mm
    1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
    基片臺轉(zhuǎn)速
     
    轉(zhuǎn)速0-20RPM
    控 溫 精 度
    ±1
    極限真空
    pa
    6.67.0×10-5
    密封系統(tǒng)
     
    磁流體密封
    水冷、氣路系統(tǒng)
     
    冷卻水循環(huán)機、無噪聲氣泵
    報警及保護
     
    對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警及相應(yīng)保護措施
    真空系統(tǒng) 
    (選 配)
    真空系列
    單級機械泵、擴散泵機組、分子泵
    工作腔體
    不銹鋼
    氣氛系統(tǒng)
    浮子流量計、進口、國產(chǎn)質(zhì)量流量計
    記錄裝置
    進口、國產(chǎn)無紙記錄儀
    備注:西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標產(chǎn)品的設(shè)計制造,歡迎來函、來電咨詢!   
          24小時熱線:400-668-6260   18610138965    Fax:010-51418223
      cntdl@sina.com                     http://www.cimitdl.com
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    西尼特(北京)電爐有限公司
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    推薦供應(yīng)
    0571-87774297  
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