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產(chǎn)品簡介
晶圓激光刻號機
晶圓激光刻號機
產(chǎn)品價格：￥
上架日期：2023-04-07 08:47:50
產(chǎn)地：上海奉賢區(qū)
發(fā)貨地：上海奉賢區(qū)
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺
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詳細說明
    晶圓刻號打碼機


    產(chǎn)品介紹
    是專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備，適用于2-8英寸晶圓的軟打標、硬打標作業(yè)。
    支持OCR字符和點陣字符，
    適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標、硬打標。
    全自動生產(chǎn) 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圓
    工業(yè)級激光器，穩(wěn)定可靠，免維護
    光束質(zhì)量好，標識精細，可讀性好
    操作界面友好，使用方便 ，
    無需外接水冷機




    應(yīng)用范圍：


    2-8英寸晶圓的軟打標、硬打標
    適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號、打碼。






    技術(shù)規(guī)格                             項目                          單位                           數(shù)值


    最大加工尺寸                  晶圓尺寸                       inch                           6英寸
    激光器功率                      激光器出口處                w                               20瓦
    激光器波長                      紅外光纖激光器             nm                          1064納米
                                          定位精度                       mm                          0.05毫米
                                           重復(fù)精度                       mm                         0.02毫米
    振鏡                                最大掃描速度                mm/s                       7000毫米/秒
                                           振鏡類型                      數(shù)字/模擬                 高速數(shù)字式振鏡
                                           最大負載                      Kg                            1.5千克
    協(xié)作機械手                      最大臂長                      mm                           400毫米
                                           重復(fù)精度                      mm                          正負0.03毫米
                                           Z向行程                        mm                         210微米
                                           電源                             AC                   兩相220~240V 50HZ
                                           最大耗電量                   Kw                           1.5千瓦
                                           單獨接地電阻                Ω                             小于4歐
                                           共用接地電阻                Ω                             小于1歐
                                           壓縮空氣供給壓力         MPa                         0.5~0.8兆帕
                                           廠務(wù)真空供給                Kpa                         -0.6千帕
    其他規(guī)格                          排風口口徑                   mm                           50毫米

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