空氣過(guò)濾器
本產(chǎn)品針對(duì)MOCVD系列外延片生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計(jì)的尾氣過(guò)濾器，過(guò)濾器使用的是美國(guó)HV濾紙，該產(chǎn)品過(guò)濾精度高，透氣度大：過(guò)濾器骨架采用金屬5孔沖孔網(wǎng)焊接，連接專用金屬絲網(wǎng)而成，外觀整齊，與骨架連接緊湊，強(qiáng)度大，不易脫落，耐壓性能好，耐高溫，環(huán)保。
主要特性：
1、采用寬尺寸折波工藝，過(guò)濾面積比傳統(tǒng)增大30%，納污能力更強(qiáng)，更換周期更長(zhǎng)，在CRIUS II-XL和AIX G5 HT設(shè)備上使用達(dá)到90-100爐。
2、專用的玻纖過(guò)濾材料，空隙更均勻，透氣性更好，使用壓差低，有效保護(hù)MOCVD設(shè)備：
3、具有優(yōu)良的強(qiáng)度，阻燃，耐高溫，耐腐蝕，適應(yīng)過(guò)濾MOCVD尾氣的苛刻環(huán)境。
應(yīng)用參數(shù)：
1、工作溫度：150C°-----300C°
2、產(chǎn)品規(guī)格：高度270mm,外徑125mm，內(nèi)徑58mm
折數(shù)：70折，折高：25mm，丁晴密封膠：90*70*5T
3、過(guò)濾精度：25um@98%
4、建議更換周期：30-55天（滿負(fù)荷生產(chǎn)）
