MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸大300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)保持檢測(cè)者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告生成的整體工作流。
| MX63 | MX63L | ||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)) | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 |
白光LED (帶有光強(qiáng)度控制器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/分光鏡組件手動(dòng)切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過(guò)手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場(chǎng)自動(dòng)完全打開(kāi)） 觀察模式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯（DIC）*1、簡(jiǎn)易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 和MIX觀察（4個(gè)定向暗場(chǎng)）*2 *1選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 |
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| 透射光照明 |
透射光照明裝置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（NA 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（NA 0.6），孔徑光闌以及視場(chǎng)光闌 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 光導(dǎo): LG-SF 觀察模式: 明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光 |
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| 聚焦 |
行程：32毫米 每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米 最小分度: 1微米 用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié) |
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| 大載荷重量(包括載物臺(tái)和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
| 觀察筒 | 寬視場(chǎng)(FN 22毫米) |
正像三目鏡筒：U-ETR4 正像、可調(diào)傾角三目鏡筒: U-TTR-2 倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30 |
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| 超寬視場(chǎng)(FN 26.5毫米) |
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR (光程切換100% (目鏡) : 0 (相機(jī)) 或 0 : 100%) 正像可調(diào)傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換100% (目鏡) : 0 (相機(jī)) 或 20% : 80%) 倒像三目鏡筒: U-SWTR-3 |
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| 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 |
明場(chǎng)
明場(chǎng)和暗場(chǎng) |
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| 載物臺(tái) (X × Y) |
帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC8R
帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC6R2 |
帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射區(qū)域：356 x 284毫米 |
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| 重量 | 約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤) | 約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤) | |
