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技術(shù)參數(shù)（參考）

• 測(cè)量長(zhǎng)度：740毫米
• 精度等級(jí)：5.0 μm
• 光柵周期：20,000 μm
• 測(cè)量步長(zhǎng)：10 nm
• 緊固類型：旋入式一體式
• 數(shù)據(jù)接口：EnDat02 同步串行 EnDat 2.2 帶增量信號(hào)
• 電源：3.6V, 5.25V
• 電氣連接：法蘭插座，公14針

請(qǐng)注意，以上技術(shù)參數(shù)可能因產(chǎn)品批次或更新而有所變化，請(qǐng)以實(shí)際購(gòu)買時(shí)提供的產(chǎn)品說明書和技術(shù)參數(shù)為準(zhǔn)。

1. 高精度測(cè)量：具有極高的測(cè)量精度，能夠?yàn)樵O(shè)備提供精確的位置反饋，確保加工、測(cè)量等操作的準(zhǔn)確性。
2. 高分辨率：可以實(shí)現(xiàn)微小位移的精確檢測(cè)，能夠滿足對(duì)測(cè)量分辨率有嚴(yán)格要求的應(yīng)用場(chǎng)合。
3. 快速響應(yīng)：對(duì)運(yùn)動(dòng)物體的位置變化能夠快速做出響應(yīng)，實(shí)時(shí)輸出準(zhǔn)確的位置信息，有助于提高設(shè)備的動(dòng)態(tài)性能和生產(chǎn)效率。
4. 穩(wěn)定性強(qiáng)：采用優(yōu)質(zhì)的材料和先進(jìn)的制造工藝，在不同的環(huán)境條件（如溫度、濕度、振動(dòng)等）下都能保持穩(wěn)定的測(cè)量性能。
5. 耐用可靠：具有較長(zhǎng)的使用壽命和較低的故障率，能夠在長(zhǎng)期連續(xù)工作的情況下保持良好的性能。

1. 數(shù)控機(jī)床：安裝在機(jī)床的工作臺(tái)上，用于精確測(cè)量工作臺(tái)的位移，實(shí)現(xiàn)對(duì)加工零件的高精度加工。

1. 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：為測(cè)量機(jī)提供精確的空間位置測(cè)量，用于對(duì)零件的尺寸、形狀和位置精度進(jìn)行測(cè)量。
2. 半導(dǎo)體制造設(shè)備：在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體制造設(shè)備中，精確控制晶圓的位置和移動(dòng)，保證芯片制造的精度和質(zhì)量。

3. 自動(dòng)化生產(chǎn)線：用于對(duì)生產(chǎn)線上運(yùn)動(dòng)部件的位置進(jìn)行精確測(cè)量和控制，確保產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)效率。