輪廓粗糙度一體化，實(shí)現(xiàn)一次測量，輪廓、粗糙度同時(shí)分析
粗糙度測量傳感器選用進(jìn)口光柵傳感器，具有較大的測量量程
一次測量，可分析工件不同區(qū)域粗糙度，提高測量效率
|
測量范圍 |
X方向 |
150mm |
|
|
Z1（傳感器） |
60mm |
||
|
高度 |
500mm |
||
|
測量精度 |
X指示精度 （L=X軸移動導(dǎo)軌距離） |
±(0.7+0.002L)μm |
|
|
Z1指示精度 （H=Z軸方向測量高度） |
±(0.4+0.005H)μm |
||
|
粗糙度 |
示值誤差 |
±5% |
|
|
示值穩(wěn)定性 |
≤±7% |
||
|
測量重復(fù)性 |
±3% |
||
|
X軸 |
類型 |
光柵傳感器 |
|
|
分辨率 |
0.01μm |
||
|
產(chǎn)地 |
microe |
||
|
直線度 |
0.5um/100mm |
||
|
Z1軸 （傳感器） |
類型 |
光柵傳感器 |
|
|
分辨率 |
0.01μm |
||
|
產(chǎn)地 |
microe |
||
|
評定長度 |
λc×3、4、5、6、7 |
||
|
測量速度 |
輪廓儀 |
0.02mm至4.0mm/s |
|
|
粗糙度 |
0.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s |
||
|
測針 |
輪廓儀粗糙度儀一體 |
針尖R5μm 60度 |
|
|
工作壓力 |
0.35～0.43Mpa |
||
|
氣源壓力 |
0.45～0.80Mpa |
||
|
氣源流量 |
≥0.2 m3/min |
||
|
電源 |
AC 220V±10% 50Hz |
||
|
環(huán)境要求 |
溫度：10～30℃；相對濕度：＜85% |
||
