FMA-2606A-VOL FMA-2610A-I2 FMA-2613A-I2流量計(jì)OMEGA歐米茄
氣體質(zhì)量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列
氣體質(zhì)量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列:氣體質(zhì)量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
20多種氣體校準(zhǔn)，包括氦氣、氧氣、氖氣、一氧化二氮、氮?dú)狻⒋髿?、氬氣、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化?br />
同時(shí)顯示壓力、溫度、體積以及質(zhì)量流量
簡(jiǎn)單易用的按鈕界面
NIST 可溯源性標(biāo)準(zhǔn)
滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 1500 SLM
常規(guī)響應(yīng)時(shí)間：50 ~ 100 毫秒
常規(guī)量程比：100:1
位置不
±0.8%讀數(shù)精度
標(biāo)配RS232
FMA-2600A系列質(zhì)量與體積流量控制器在層流場(chǎng)中使用差壓原則來(lái)確定和控制質(zhì)量流速。流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流。
泊肅葉方程規(guī)定， 在這一區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關(guān)系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。
同時(shí)結(jié)合氣體的粘度準(zhǔn)確判定體積流速。引入單獨(dú)的溫度和壓力傳感器，并根據(jù)一系列標(biāo)準(zhǔn)條件糾正氣體流速。
這種標(biāo)準(zhǔn)流速俗稱質(zhì)量流速，并使用每分鐘標(biāo)準(zhǔn)立方英尺(SCFM)或每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升(SLM)等單位表示。
該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過(guò)一體化PID回路控制器控制流體。
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊?？赏ㄟ^(guò)前面板鍵盤或RS232通訊調(diào)整氣體選擇功能和設(shè)定值。
體積 流量、質(zhì)量流量、壓力以及溫度均可以通過(guò)RS232連接查看或記錄。
同時(shí)，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，多可與26臺(tái)設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通訊。
