|
一.技術(shù)參數(shù) |
|
|
|
|
|
|
|
X軸(驅(qū)動(dòng)部分) |
|
|
|
|
||
|
測(cè)量范圍: 標(biāo)準(zhǔn)型和退避型為16mm，橫向型為5.6mm |
|
|||||
|
測(cè)量速度: 測(cè)量：0.25mm/s,0.5mm/s,0.75mm/s 返回：1mm/s |
|
|||||
|
檢測(cè)器 |
|
|
|
|
|
|
|
范圍: 360μm(-200μm到+160μm) |
|
|
||||
|
分辨力: 360μm/0.02μm，100μm/0.006μm，25μm/0.002μm |
|
|||||
|
檢測(cè)方法: 有軌測(cè)量 |
|
|
|
|||
|
探針針尖: 90°/5μmR 測(cè)力4mN |
|
|
||||
|
60°/2μmR 測(cè)力0.75mN |
|
|||||
|
導(dǎo)頭壓力: 小于400mN |
|
|
|
|||
|
電源: 內(nèi)置可充電鎳氫電池/AC適配器 |
|
|
||||
|
電池壽命: 大約可測(cè)量1000次 |
|
|
||||
|
充電時(shí)間: 大約4個(gè)小時(shí) |
|
|
|
|||
|
外形尺寸： W115×D23×H26mm（包含檢出器） |
|
|
||||
|
外部I/O功能: USB I/F，數(shù)顯輸出，打印機(jī)輸出，RS-232C I/F，腳踏開關(guān) I/F |
||||||
|
型號(hào) |
SJ-210 |
|||||
|
驅(qū)動(dòng)器 |
標(biāo)準(zhǔn)型 |
退避型 |
橫向型 |
|||
|
檢測(cè)器測(cè)力 |
0.75mN |
4mN |
0.75mN |
4mN |
0.75mN |
4mN |
|
貨號(hào)(mm) |
178-560-01DC |
178-560-02DC |
178-562-01DC |
178-562-02DC |
178-564-01DC |
178-564-02DC |
|
(inch/mm) |
178-561-01DC |
178-561-02DC |
178-563-01DC |
178-563-02DC |
178-565-01DC |
178-565-02DC |
