【貼膜機(jī)AMW-12】半自動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)amw12
半自動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)AMW-12性能:
晶圓收益 ≥99.9%;
貼膜質(zhì)量 沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時(shí)產(chǎn)能 ≥ 75片晶圓;
更換產(chǎn)品時(shí)間 ≤ 5分鐘。
半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)AMW-12切割膜規(guī)格參數(shù):
晶圓直徑 8”& 12”;
晶圓厚度 200~750微米;
晶圓承載環(huán) 8”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn);
12”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn);
客戶制定標(biāo)準(zhǔn);
貼膜原理 防靜電滾輪貼膜;
晶圓臺盤 可更換式防靜電涂層接觸式臺盤(8“和12”之間互換);
或硅膠臺盤;或多孔金屬臺盤;或陶瓷臺盤;
裝卸方式 晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出;
防靜電控制 防靜電涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/防靜電離子發(fā)生器裝置;
切割系統(tǒng) 手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀;
晶圓定位 通用標(biāo)線/彈簧定位銷;
控制單元 基于PLC 控制,帶5.7”觸摸屏;
安全防護(hù) 配置緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓 單相交流電220V,10A;
壓縮空氣 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺;
機(jī)器外殼 白色噴塑金屬外殼;
體積 670毫米(寬)*1110毫米(深)*880毫米(高);
凈重 100公斤;
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