PFA晶圓盒,培養(yǎng)皿,一體成型,表面光潔無殘留,可用于新材料半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室清洗、存放晶圓硅片。
規(guī)格參考:
體:直徑120mm,高27mm 蓋:直徑132mm,高35mm
體:直徑80mm,高40mm 蓋:直徑89mm,高25mm
特點(diǎn):
1、外觀半透明;
2、耐高低溫:使用溫度-200~+260℃;
3、耐腐蝕:耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、王水、HF和各種有機(jī)溶劑;
4、防污染:金屬元素雜質(zhì)含量低于0.01ppb,滿足ICP超高實(shí)驗(yàn)要求;