普通的壓阻式壓力傳感器其敏感控測惠斯頓電橋的四個力敏點阻是用集成電路工藝制造的，電阻間用PN結(jié)相互隔離。由于受到PN結(jié)耐溫限制，最高使用溫度僅125°C，而實際上由于PN結(jié)反向漏電流隨溫度的指數(shù)上升關(guān)系，在溫度超過100°C后，傳感器性能已大大劣化，這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。利用厚薄膜技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴(kuò)展至125°C；利用多晶硅SOI技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴(kuò)展至150°C；利用傳統(tǒng)SOS技術(shù)和先
進(jìn)的SOI技術(shù)可將使用溫度擴(kuò)展至180°C—350°C；利用最新的β相高溫力敏材料碳化硅與SOI技術(shù)的結(jié)合，可將使用溫度擴(kuò)展至450°C—850°C，本系列產(chǎn)品是利用德國HELM公司的國際先進(jìn)傳感器，配合高精度電子元件，經(jīng)嚴(yán)格的工藝過程裝配而成。
產(chǎn)品特點 產(chǎn)品用途
◇ 全不銹鋼外殼，卓越的抗腐蝕性能 ◇ 工業(yè)過程控制
◇ 壓力測量范圍寬 ◇ 化工
◇ 溫度測量范圍寬，溫度誤差極小 ◇ 水利
◇ 工作穩(wěn)定 抗干擾能力強(qiáng) ◇ 發(fā)電工程
◇ 可靠性高，雙膜片結(jié)構(gòu) ◇ 熱能工程
◇ 外形尺寸小，重量輕，類型齊全 ◇ 石油勘探
◇ 反相極性過壓過流保護(hù)
◇ 測量介質(zhì)范圍廣 ◇ 國防科研
性能參數(shù)
測量范圍
0~10KPa...100MPa
過載能力
2倍滿量程壓力(其中100MPa的產(chǎn)品過壓為1.1倍滿量程壓力)
壓力類型
表壓或絕壓或密封參考壓力
測量介質(zhì)
與316不銹鋼兼容的氣體或液體
綜合精度
±0.25%FS
±0.5%FS
±1%FS
使用溫區(qū)
-40°C~+150°C
-40°C~+200°C
-55°C~+250°C
-25°C~+350°C
補(bǔ)償溫區(qū)
-20°C~+130°C
-20°C~+180°C
-20°C~+200°C
0°C~+250°C
長期穩(wěn)定性
典型：±0.1%FS/年
最大：±0.2%FS/年
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