圓光柵
SiGNUM RSEM
SiGNUM RESM圓光柵在高速和高溫時能夠保證精度、分辨率和重復精度
還具有超低的周期誤差和IN-TRAC?光學參考零位
其性能適于精度要求極高的測量場合
概述
SiGNUM? RESM圓光柵在高速和高溫時能夠保證精度、分辨率和重復精度。它還具有超低的周期誤差和IN-TRAC?光學參考零位。RESM圓光柵的性能適于精度要求極高的測量場合。SiGNUM?還提供直線光柵。
SR讀數(shù)頭和Si接口盒的特性與優(yōu)點
系統(tǒng)由SR讀數(shù)頭、Si接口盒和RELM 20 μm柵距的圓光柵組成。
動態(tài)信號控制確保周期誤差為±30 nm,具有“精細柵距”光柵性能
最高工作速度達4 500轉/分,最高工作溫度達85°C
在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號穩(wěn)定性。
IP64“可反復使用的讀數(shù)頭”在被冷卻液噴濺或浸沒之后只需"擦拭干凈”即可恢復原樣
Si接口盒提供具有工業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出
FANUC串行兼容接口 (Si-FN) 直接通過接口進行FANUC串行通訊,以提高性能并簡化連接(Si-FN僅與直徑為?52 mm、?104 mm、?209 mm和?417 mm的圓光柵兼容)
用戶可選的AGC保持1 Vpp的模擬信號幅度
讀數(shù)頭和接口盒上的LED指示燈能夠實現(xiàn)最佳安裝和系統(tǒng)診斷
高柔性、UL認證的電纜 — 在讀數(shù)頭和接口盒之間長達10 m
提供可選的IP68內置接頭
RESM圓光柵的特性與優(yōu)點
RESM圓光柵為一體式不銹鋼圓光柵,其柱面上直接刻有20 μm柵距的刻線并具有IN-TRAC?自動調相光學參考零位。輕薄小巧的RESM有多種尺寸(直徑從52 mm到550 mm)和刻線數(shù)可供選擇,具有內徑大、安裝靈活的特點。
IN-TRAC?自動調相光學參考零位,在工作速度超過4,500轉/分 (?52 mm) 且溫度達85°C時具有雙向、可重復功能
提供多種直徑和刻線數(shù),可與一系列具有行業(yè)標準的控制器兼容(直徑從52 mm到550 mm,刻線數(shù)從8,192到86 400)
具有專利的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差,簡化了系統(tǒng)集成
刻劃精度達±0.5角秒*,系統(tǒng)重復精度達0.02角秒(20 nm Si接口盒和?413 mm圓光柵)
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質量與低轉動慣量的設計增強了系統(tǒng)精度和動態(tài)性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動、機械和熱撞擊,以及熱負載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復時間,還可提供轉動慣量極低的"B"截面圓光柵
FANUC串行Si-FN接口與?52 mm、?104 mm、?209 mm和?417 mm圓光柵兼容
還可提供與部分圓弧應用相關的用戶可選定位、雙光學限位
*200 mm RESA圓光柵的典型結果
SiGNUM?軟件
SiGNUM?是計算機軟件,可以實現(xiàn)全面的校正、設定優(yōu)化及“實時”診斷,從而簡化了系統(tǒng)安裝與維護。Si接口盒通過一個微型USB接頭連接在計算機上。
對包括信號強度表、利薩如 (Lissajous) 圖形和IRED反饋表(AGC驅動)在內的信號水平和系統(tǒng)性能進行“實時”遠程監(jiān)控,幫助系統(tǒng)實現(xiàn)優(yōu)化
俯仰調節(jié)指示器可精細調整讀數(shù)頭俯仰度
參考零位信號和增量信號快速、簡單的遠程校準
在實時閉環(huán)操作過程中,通過USB對系統(tǒng)性能進行遠程監(jiān)控
系統(tǒng)在非最佳狀態(tài)(警告功能)和出現(xiàn)任何錯誤(報警功能)時向用戶發(fā)出報警
技術“信息”指南提供系統(tǒng)功能和查錯的上下文說明和詳細解釋
系統(tǒng)配置頁面顯示Si接口盒配置詳細分辨率、時鐘頻率等信息
通過FANUC串行Si-FN接口可獲得DRO功能。
多語言用戶接口可使用戶從英語、德語、意大利語和日語中進行選擇
技術規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
輸出(分辨率) RS422: 5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。
模擬: 1 Vpp
FANUC串行: 20位、23位、24位、25位、26位
細分 Si接口(x4至x4000)
參考零位 IN-TRAC?自動調相光學參考零位
限位開關 用戶定位的雙光學限位
最高速度 4500轉/分
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 20 μm柵距RESM圓光柵
真空兼容 否
系統(tǒng)精度 — 20 μm柵距RESM與SiGNUM?
標稱外徑 (mm) 系統(tǒng)精度(角秒) 標稱外徑 (mm) 系統(tǒng)精度(角秒)
52 4.28 206 1.08
57 3.91 209 1.07
75 2.97 229 0.97
100 2.23 255 0.87
101 2.21 300 0.74
103 2.16 350 0.64
104 2.14 413 0.54
115 1.94 417 0.53
150 1.49 489 0.46
200 1.11 550 0.41