日本大金KSO-G02-66CC-30電磁閥，DAIKIN電磁閥，大金柱塞泵是液壓系統(tǒng)的一個重要裝置。它依靠柱塞在缸體中往復(fù)運動，使密封工作容腔的容積發(fā)生變化來實現(xiàn)吸油、壓油。柱塞泵具有額定壓力高、結(jié)構(gòu)緊湊、效率高和流量調(diào)節(jié)方便等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于高壓、大流量和流量需要調(diào)節(jié)的場合，諸如液壓機、工程機械和船舶中。大金柱塞泵性能概述有如下：KSO-G03-2AP-20-H2、KSO-G03-2BP-20-2T、，KSO-G03-4CP-20、KSO-G03-4CD-20、KSO-G03-2AD-H2-20、KSO-G03-3CD-20、KSO-G03-2BD-20；，，LS-G02-7CA-25-EN-650 , LS-G02-2BA-25-EN-650 ,LS-G02-8CP-20-EN，LS-G02-2CA-25-EN-645 LS-G02-4CP-20-EN LS-G02-2CP-20-EN LS-G02-2CA-30-EN，LS-G02-2CB-30-EN LS-G02-2CC-30-EN LS-G02-2CD-30-EN LS-G02-2CP-20-EN，LS-G02-3CB-30-EN LS-G02-3CC-30-EN LS-G02-3CD-30-EN LS-G02-3CP-20-EN，LS-G02-4CB-30-EN LS-G02-4CC-30-EN LS-G02-4CD-30-EN LS-G02-4CP-20-EN，LS-G02-44CB-30-EN,LS-G02-44CC-30-EN,LS-G02-44CD-30-EN,LS-G02-44CP-20-EN，LS-G02-2AB-30-EN LS-G02-2AC-30-EN LS-G02-2AD-30-EN LS-G02-2AP-20-EN，LS-G02-3AB-30-EN LS-G02-3AC-30-EN LS-G02-3AD-30-EN LS-G02-3AP-20-EN，LS-G02-2BB-30-EN LS-G02-2BC-30-EN LS-G02-2BD-30-EN LS-G02-2BP-20-EN，LS-G02-5CB-30-EN LS-G02-5CC-30-EN LS-G02-5CD-30-EN LS-G02-5CP-20-EN,LS-G02-66CB-30-EN,LS-G02-66CC-30-EN,LS-G02-66CD-30-EN LS-G02-66CP-20-EN，LS-G02-7CB-30-EN LS-G02-7CC-30-EN LS-G02-7CD-30-EN LS-G02-7CP-20-EN，LS-G02-8CB-30-EN LS-G02-8CC-30-EN LS-G02-8CD-30-EN，、
日本大金KSO-G02-66CC-30電磁閥，DAIKIN電磁閥，V型柱塞泵，以獨特設(shè)計斜盤變化角度功能。廣泛應(yīng)用于各種場所。特殊設(shè)計，在全壓力區(qū)內(nèi)，保持低噪音性能。由多種控制方式整合，能形成系統(tǒng)，具有省能源、小型化、低成本功能等優(yōu)點。功率損失小、減低油溫上升、可選配較小型油箱。廣泛應(yīng)用于工具機、機慶、鍛壓、塑料成形機等。低噪音，每個系列中所有壓力范圍都實現(xiàn)了低噪聲音運轉(zhuǎn)，高效率。大金柱塞泵特點高密度介質(zhì)排出：因采用了支撐斜盤，實現(xiàn)了小型輕量化、高壓化，從而提高了單位重量的輸出功率。低工作噪音：在提高斜盤構(gòu)造剛性的同時，采用最新測量分析技術(shù)設(shè)計的機架，使運轉(zhuǎn)噪音大大降低。高效率：采用球閥板和適宜的油壓平衡，擴展了運轉(zhuǎn)條件且產(chǎn)生高效率。長效運轉(zhuǎn)：由于采用了優(yōu)良的耐磨型球閥板，強化了抗污染特性。
KSO-G02-2CA-30、KSO-G02-2CB-30、KSO-G02-2CC-30、KSO-G02-2CD-30、KSO-G02-2CN-30、KSO-G02-2CP-30、KSO-G02-3CA-30、KSO-G02-3CB-30、KSO-G02-3CC-30、KSO-G02-3CD-30、KSO-G02-3CN-30、KSO-G02-3CP-30、KSO-G02-4CA-30、KSO-G02-4CB-30、日本大金KSO-G02-66CC-30電磁閥，DAIKIN電磁閥，KSO-G02-4CC-30、KSO-G02-4CD-30、KSO-G02-4CN-30、KSO-G02-4CP-30、KSO-G02-44CA-30、KSO-G02-44CB-30、KSO-G02-44CC-30、KSO-G02-44CD-30、KSO-G02-44CN-30、KSO-G02-44CP-30、，KSO-G02-5CA-30、KSO-G02-5CB-30、KSO-G02-5CC-30、KSO-G02-5CD-30、KSO-G02-5CN-30、，KSO-G02-5CP-30、KSO-G02-66CA-30、KSO-G02-66CB-30、KSO-G02-66CC-30、KSO-G02-66CD-30、，KSO-G02-66CN-30、KSO-G02-66CP-30、KSO-G02-7CA-30、KSO-G02-7CB-30、KSO-G02-7CC-30、，KSO-G02-7CD-30、KSO-G02-7CN-30、KSO-G02-7CP-30、KSO-G02-8CA-30、KSO-G02-8CB-30、，KSO-G02-8CC-30、KSO-G02-8CD-30、KSO-G02-8CN-30、KSO-G02-8CP-30、KSO-G02-9CA-30、，KSO-G02-9CB-30、KSO-G02-9CC-30、KSO-G02-9CD-30、KSO-G02-9CN-30、KSO-G02-9CP-30、，KSO-G02-51CA-30、KSO-G02-51CB-30、KSO-G02-51CC-30、KSO-G02-51CD-30、KSO-G02-51CN-30、，KSO-G02-51CP-30、KSO-G02-81CA-30、KSO-G02-81CB-30、KSO-G02-81CC-30、KSO-G02-81CD-30、本文根據(jù)進口磁控鍍膜玻璃生產(chǎn)線使用、維護經(jīng)驗，詳細論述了通過調(diào)整陰極靶材磁場，如何有效增強靶材利用率。論文關(guān)鍵詞：靶材,利用率,磁控濺射,磁場有些國產(chǎn)單室磁控濺射設(shè)備的廠家采用補焊的方法來延長不銹鋼靶的壽命，由于其對鍍膜玻璃膜層質(zhì)量要求不高，該方法效果不錯，但使用進口連續(xù)生產(chǎn)線的廠家，還沒有人采用該方法。靶材濺射溝較深的幾個點，其濺射率最高，不但浪費靶材，還造成鍍膜玻璃膜層在橫向上不均勻。如果能降低濺射溝較深處幾點的磁場，不僅能提高膜層橫向均勻度，而且能延長靶材壽命，提高靶材利用率。1 磁控濺射的工藝原理
在充入少量工藝氣體的真空室內(nèi)，當(dāng)極間電壓很小時，只有少量離子和電子存在，電流密度在10-15A/cm2數(shù)量極，當(dāng)陰極（靶材）和陽極間電壓增加時，帶電粒子在電場的作用下加速運動，能量增加，與電極或中性氣體原子相碰撞，產(chǎn)生更多的帶電粒子，直至電流達到10-6A/cm2數(shù)量極，當(dāng)電壓再增加時，則會產(chǎn)生負阻效應(yīng)，即“雪崩”現(xiàn)象。此時離子轟擊陰極，擊出陰極原子和二次電子，二次電子與中性原子碰撞，產(chǎn)生更多離子，此離子再轟擊陰極，又產(chǎn)生二次電子，如此反復(fù)。當(dāng)電流密度達到0.01A/cm2數(shù)量級左右時，電流將隨電壓的增加而增加，形成高密度等離子體的異常輝光放電，高能量的離子轟擊陰極（靶材）產(chǎn)生濺射現(xiàn)象。濺射出來的高能量靶材粒子沉積到陽極（玻璃毛坯）上，從而達到鍍膜的目的。
在磁場的作用下，電子在向陽極運動的過程中，作螺旋運動，束縛和延長了電子的運動軌跡，從而提高了電子對工藝氣體的電離幾率，有效地利用了電子的能量，因而在形成高密度等離子體的異常輝光放電中，正離子對靶材轟擊所引起的靶材濺射更加有效。同時受正交電磁場的束縛，電子只有在其能量消耗盡時才能落在玻璃上，從而使磁控濺射具有高速、低溫的優(yōu)點。
，KSO-G02-81CN-30、KSO-G02-81CP-30、KSO-G02-91CA-30、KSO-G02-91CB-30、KSO-G02-91CC-30、，KSO-G02-91CD-30、KSO-G02-91CN-30、KSO-G02-91CP-30、，，KSO-G02-2NA-30、KSO-G02-2NB-30、KSO-G02-2NC-30、KSO-G02-2ND-30、KSO-G02-2NN-30、，KSO-G02-2NP-30、KSO-G02-20NA-30、KSO-G02-20NB-30、KSO-G02-20NC-30、KSO-G02-20ND-30，KSO-G02-20NN-30、KSO-G02-20NP-30、KSO-G02-2N-2TA-30、KSO-G02-2N-2TB-30、KSO-G02-2N-2TC-30、KSO-G02-2N-2TD-30、KSO-G02-2N-2TN-30、KSO-G02-2N-2TP-30、KSO-G02-2N-H2A-30、KSO-G02-2N-H2B-30、KSO-G02-2N-H2C-30、KSO-G02-2N-H2D-30、KSO-G02-2N-H2N-30、KSO-G02-2N-H2P-30、，，KSO-G02-2DA-30、KSO-G02-2DB-30、KSO-G02-2DC-30、KSO-G02-2DD-30、KSO-G02-2DN-30、，KSO-G02-2DP-30、KSO-G02-20DA-30、KSO-G02-20DB-30、KSO-G02-20DC-30、KSO-G02-20DD-30、，KSO-G02-20DN-30、KSO-G02-20DP-30、KSO-G02-2A-H2A-30、KSO-G02-2A-H2B-30、KSO-G02-2A-H2C-30、KSO-G02-2A-H2D-30、KSO-G02-2A-H2N-30、KSO-G02-2A-H2P-30、KSO-G02-3A-H3A-30、KSO-G02-3A-H3B-30、KSO-G02-3A-H3C-30、KSO-G02-3A-H3D-30、KSO-G02-3A-H3N-30、KSO-G02-3A-H3P-30、KSO-G02-81A-H4A-30、KSO-G02-81A-H4B-30、KSO-G02-81A-H4C-30、KSO-G02-81A-H4D-30、KSO-G02-81A-H4N-30、KSO-G02-81A-H4P-30、KSO-G02-3A-T5A-30、KSO-G02-3A-T5B-30、KSO-G02-3A-T5C-30KSO-G02-3A-T5D-30，，KSO-G03-2BP-20、KSO-G03-2DP-20、KSO-G03-2CP-20、
日本大金KSO-G02-66CC-30電磁閥，DAIKIN電磁閥，
2 靶材狀況通過對數(shù)套靶從開始使用到報廢全過程的觀察、記錄、分析，我們發(fā)現(xiàn)有非常一致性的規(guī)律，表1是一套靶報廢時的實測參數(shù)，其他靶的參數(shù)略有不同，但變化很小，規(guī)律一致。通過表1的實物測量數(shù)據(jù)，我們可以看出：2.1每塊磁鐵中部的磁場強度小，靶材濺射溝淺；磁鐵間縫隙磁場強度大，濺射溝深。磁鐵中部的磁場強度小，縫隙磁場強度大，這一現(xiàn)象是由磁鐵的物理屬性造成的。磁場強度大的地方濺射溝深，這是因為磁場強度大的區(qū)域二次電子和離子密度大；磁場強度小的地方濺射溝淺，這是因為磁場強度大的區(qū)域二次電子和離子密度小。
2.2靶材報廢時濺射溝中心線不在磁鐵N、S極正中間，而是偏向外邊即N極12.5㎜左右，新靶濺射溝的中心線，偏向N極8.5㎜左右。
離子在向陰極運動過程中，受到正交電磁場的作用而發(fā)生偏轉(zhuǎn)，因此濺射溝中心線不在磁鐵N、S極正中間，而是偏向N極，離子體距離新靶的靶面近，離子的偏移量小，因此濺射溝的中心線只偏向N極8.5mm左右，而舊靶的濺射溝距磁鐵近，磁場強度大，并且距離子遠，偏移量大，因此濺射中心線偏向N極12.5mm左右。2.3靶材濺射溝隨磁中、磁隙呈波浪狀起伏，在磁鐵中部濺射溝偏向中間，即S極，在磁鐵縫隙濺射溝偏向外邊，即N極。其原理同上。 2.4靶材兩端圓弧段比中間直線段的濺射溝要深一些，約25%。雖然圓弧段比中間直線段磁場強度要小很多，但因為電子運動到該處受到阻塞，再加上泵抽效應(yīng)的影響，致使該處的等離子體密度大，濺射效率高，濺射溝深。
2.5 HRC-5100型靶的靶長2695mm而玻璃最大寬度為2134mm，即靶材的兩邊有（2695-2134）/2=561/2=280.5mm沒有有效地沉積到玻璃上。玻璃的邊緣約對應(yīng)靶的第4個孔和第32孔，從（表1）可以看出，濺射溝兩端最深處的濺射，基本沒有沉積到玻璃上，而該處靶材濺射效率卻最高，造成靶材過早地報廢。為了消除邊緣效應(yīng)、泵抽效應(yīng)，使膜層橫向均勻，而人為將靶設(shè)計寬一些，同時為滿足磁控濺射工藝，將磁場設(shè)計成環(huán)形，防止電子流失控。
如果我們適當(dāng)?shù)亟档桶胁膬啥说拇盆F強度，這樣就可以既不影響整板玻璃的橫向色差均勻度，又能減少高濺射速率區(qū)域的濺射速率，提高靶材壽命。3.靶材磁場的調(diào)整3.1 找出調(diào)整點
根據(jù)表1我們不難看出，靶材直線段最深處一般不超過21.0mm，而圓弧段都超過21.0mm，因此我們把深度超過21.0mm的點定為調(diào)整點。在靶材的上半部，共有左圓弧段磁隙、圓弧段中部、33孔、31孔、3孔和圓弧段中部六個點的磁場需要調(diào)整，在靶材的下半部，共有圓弧段中部、33孔、11孔、7孔、5孔、4孔、3孔、圓弧段中部和右圓弧段磁隙九個點的磁場需要調(diào)整。
3.2調(diào)整的標準在表1中我們可以看出，同樣的磁場強度，由于所處的位置不同，其左、右磁場強度的不同，都會造成濺射深度的不同。因此很難明確指出應(yīng)當(dāng)將調(diào)整點的磁場強度調(diào)整到某個數(shù)值，或降幾個百分點，這需要憑經(jīng)驗來摸索。有一點非常關(guān)鍵，在調(diào)整圓弧段磁場強度時，如果降得過多，將造成無法保持電子流，無法形成異常輝光放電，也就無法形成濺射。3.3調(diào)整的方法
3.3.1先準備一些低碳鋼條，6mm寬，3mm厚，20～100mm長。3.3.2將磁鐵上的壓緊鋁排拆下，刮干凈磁鐵上的銹跡。
3.3.3在調(diào)整點的磁鐵中部放上鋼條，模擬靶材表面的實際高度，測量該點的磁場強度，根據(jù)測量值，調(diào)整鋼條的長度，裝上鋁壓排、銅板和新靶材，在這套靶材將要報廢時，再次測量靶材磁場強度和濺射深度，作為再次調(diào)整磁場強度的依據(jù)。
3.3.4調(diào)整結(jié)果：經(jīng)過兩個周期的使用，我們終于得到了較滿意的效果，見表2。靶材磁場和濺射深度對應(yīng)表 表2材上半部磁場和濺射深度磁場強度的調(diào)整，是一個非常細致，需要耐心和經(jīng)驗的工作，某一點磁場強度的改變，都會造成旁邊兩個點的磁場強度改變。
通過對調(diào)整后幾套靶的實際使用效果觀察，我們發(fā)現(xiàn)一套靶中濺射溝最淺處同比增加2.8mm，一套靶的利用率提高了約11%，按現(xiàn)在每套鈦靶4.2萬元，每年消耗16套靶，不銹鋼靶3.4萬元，每年消耗6套計算，每年可節(jié)約資金約9.64萬元。同時可延長換靶周期11%，增加了有效工作時間。
