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一、勻膠機簡介：????

????鈣鈦礦太陽能電池/有機太陽電池制備涂膜工藝行業(yè)內(nèi)首選Laurell勻膠機Spin Coater，從1985年開始，30多年行業(yè)領(lǐng)導者，全球用戶超百萬！廣發(fā)應用于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備，現(xiàn)當前風靡世界的型號WS-650-23B勻膠機，在全球任何一個著名的實驗室可找到！洛桑聯(lián)邦理工學院（EPFL）Michael Gr?tzel教授課題組使用的就是Laurell勻膠機WS-650-23B。

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應用領(lǐng)域：

? 鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells

? 有機光伏OPV

? 有機發(fā)光二極管OLED

? 有機場效應晶體管&薄膜晶體管OFET & TFT

? 石墨烯&二維材料Graphene &2D

二、勻膠機產(chǎn)品特點:??

1、穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可保證膠厚度的一致性和均勻性；

2、轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定，美國國家標準技術(shù)研究院（NIST）認證過；

3、采用PLC控制，速度無極調(diào)節(jié)，在啟動之后一般工藝先以低速運轉(zhuǎn)使膠攤開，然后自動變到高速運轉(zhuǎn)，步驟轉(zhuǎn)速及相應的時間分別可調(diào)；??

4、數(shù)據(jù)模擬：勻膠實驗時將一組設(shè)定的涂膠速度和時長數(shù)值輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)會據(jù)此計算出最佳的速度設(shè)定方案，帶有速度隨時間變化的曲線；

5、數(shù)據(jù)記錄：為了提高實驗的可重復性，設(shè)備會在數(shù)據(jù)記錄模式下，實時記錄下前一次工藝過程的實驗實際值，并將該組數(shù)據(jù)存儲并重復調(diào)用，達到近乎完全一致的可重復性；

6、NPP材質(zhì)耐腐蝕及抗震；

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三、勻膠機技術(shù)參數(shù)：

1、腔體尺寸：9.5英寸?(241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；

3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm；?

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；

5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差<±1；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 lt;0.2rpm，重復性< 0.2rpm；

7、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；

9、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點精度小于0.006；

10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；

11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標準技術(shù)研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！

12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；

13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；

14、原裝進口水平測試儀；

可選配置：

IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計，帶遠程控制；

OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計，帶遠程控制；

UD自動滴膠裝置；

UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；

EBR晶圓去邊，機械裝置；

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