| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 德國OEG | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 是 | ||
| 保修期 | 1年 | ||
| 氣壓連接 | <75 mbar | ||
| 電源供應(yīng) | 100-220 V AC | ||
| 60W | |||
| 切削運(yùn)動(dòng)行程 | 200mm | ||
| 重量 | 約 16Kg | ||
| 顯微鏡倍率 | Γ’=8…40x | ||
| 劃線能力 | 10g – 130g | ||
| 機(jī)械尺寸 | 高度 | 550mm | |
| 寬度 | 430mm | ||
| 深度 | 700mm | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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概括
MYCRO原裝進(jìn)口MR200手動(dòng)精密金剛石晶圓劃片機(jī)準(zhǔn)確切割結(jié)構(gòu)化硅晶片，是理想工具-半導(dǎo)體技術(shù)的制造。MR 200的設(shè)置和設(shè)備可為定義的結(jié)構(gòu)化硅晶片切割提供高精度劃線。MR 200是必不可少的工具，特別是對于半導(dǎo)體技術(shù)中的REM制造。 MR200還適用于少量芯片的單芯片化，例如在實(shí)驗(yàn)室中使用。
技術(shù)參數(shù)
●擠壓型材的基本框架
●尺寸（BXTxH）；約400x 800x600mm
●重量應(yīng)用程序：20公斤
●電磁劃線發(fā)電（查詢：氣動(dòng)劃線發(fā)電，劃線力更高）
●通過腳踏開關(guān)控制刻劃鉆石（下降，抬起）
●可調(diào)節(jié)的劃刻力（10g 120g.其他可詢價(jià)）
●劃線槽寬度ca.?5um 10um（取決于劃線能力和材料）
●下降速度可調(diào)
●劃線鉆石高度可調(diào)
●劃線金剛石工作角度可調(diào)
●真空抽出劃線顆粒
●高質(zhì)量的變焦顯微鏡，可無級(jí)調(diào)節(jié)放大倍率，范圍為8x 40x
●十字形目鏡，可根據(jù)邊緣，結(jié)構(gòu)和參考標(biāo)記等準(zhǔn)確調(diào)整劃線。
●在10倍放大倍率下，光學(xué)分辨率更好達(dá)到10pm *
●涂有特氟龍涂層的真空晶片卡盤，安裝在x / y平臺(tái)上，直徑為200 mm（詢問時(shí)為100 mm）
●通過千分尺螺絲對水夾頭進(jìn)行角度微調(diào)（10 um分辨率= 0,006）
●卡盤準(zhǔn)確旋轉(zhuǎn)90 *，無需關(guān)閉真空
●可調(diào)節(jié)擋塊，使卡盤旋轉(zhuǎn)90 *
●手動(dòng)X / Y位移臺(tái)，行程200x 200mm，用于劃刻運(yùn)動(dòng)和粗略定位
●25毫米測微螺絲，可橫向于劃線方向準(zhǔn)確定位
●10 mm微米螺絲，可在劃線方向上準(zhǔn)確定位
●帶亮度控制和電源的LED環(huán)形燈
●最小標(biāo)本尺寸：（10x 10）mm
●晶圓厚度：硅晶圓的所有標(biāo)準(zhǔn)厚度
●材料：硅，砷化鎵（GaAs）（其他詢價(jià)材料）。視頻系統(tǒng)（還帶有圖像處理軟件）作為附件提供光學(xué)高質(zhì)量的200mm光學(xué)元件可將放大倍率從8倍無級(jí)調(diào)節(jié)到40倍。 顯微鏡還提供許多附加功能附件。
三、產(chǎn)品特點(diǎn)：
刻劃準(zhǔn)確，操作簡便
將基板放在卡盤上后，將顯微鏡聚焦在晶圓表面上。通過手動(dòng)將工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)到x和y方向，可以將劃線切成標(biāo)本上的參考標(biāo)記或結(jié)構(gòu)。高質(zhì)量zoom顯微鏡可在樣品的概覽和詳細(xì)檢查之間快速切換。使用x / y工作臺(tái)的微調(diào)，可以非常準(zhǔn)確地定位晶圓。劃線鉆石的觸地點(diǎn)可以調(diào)節(jié)。目鏡的發(fā)叉或監(jiān)視器上的發(fā)叉定義了劃線菱形的觸地點(diǎn)。劃線菱形由腳踏開關(guān)（升高/降低）控制。以便可以用雙手控制劃線運(yùn)動(dòng)。如果定義了劃線，則通過腳踏開關(guān)降低鉆石。為了劃片，手動(dòng)移動(dòng)整個(gè)卡盤。
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