| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 美國PIE | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否支持加印LOGO | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 是 | ||
| 規(guī)格 | 100mm | ||
| 發(fā)貨地 | 武漢 | ||
| 產(chǎn)地 | 美國(原裝進(jìn)口) | ||
| 起訂量 | 1套起批 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 材質(zhì) | 石英 | ||
| 型號 | Tergeo | ||
一、美國PIE等離子清洗機(jī)應(yīng)用
等離子清洗機(jī)清除樣品表面的污染物，去除光阻膠：產(chǎn)生表面活性功能組；
清洗提高材料表面親水性及疏水性，清洗生物芯片、微流控芯片，PDMS；
表面活化：渲染表面的親水性或疏水性，鍵合和沉積前的表面預(yù)處理
表面聚合：沉積帶官能分子團(tuán)的聚合物，移植聚合物到活化后的材料表面；
表面改性：在材料表面產(chǎn)生官能分子團(tuán)，高分子材料表面修飾；
去除表面殘留微生物，醫(yī)療器械的消毒和
1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；
2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作；
3、標(biāo)配75W版本，可選150W版本；
4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
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三、美國PIE等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)
1、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。
2、反應(yīng)腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；
2）腔體容積：2.6L；
3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz；
2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W
4、等離子源
1）等離子強(qiáng)度探測器實時測量等離子源強(qiáng)度。
2）外置電極設(shè)計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
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