| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Mycro | ||
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 溫度范圍 | 900℃ | ||
| 晶圓尺寸 | 2~12寸 | ||
| 熱電偶測溫點數(shù) | 1~20 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
產(chǎn)品特點（部分）
l 測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準確測量晶圓溫廠均勻性；
l 使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動生成測試報告，
支持U盤、藍牙、無線網(wǎng) 絡等多種方式導出數(shù)據(jù)和報告；
l 顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點位圖及溫度分布圖，
可在使用過程中實時觀察各點溫度變化；
l 功能強大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。
可做同一臺設備不同時間段、以及不同設備同一配方的數(shù)據(jù)對比；
l 便攜易維護 便攜一體化設計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更換TC- wafer。
應用功能
l 半導體制造工藝調(diào)校
l RTP設備的測試、驗證
l TC-Wafer的測試、驗證
l 相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
