產品參數(shù) | |||
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品牌 | 艾羅德克 | ||
顏色 | 白色 | ||
封裝 | 有 | ||
批號 | 128866 | ||
數(shù)量 | 100 | ||
重量 | 10kg | ||
部件 | 直線電機 | ||
精度 | 500nm | ||
分辨率 | 1nm | ||
尺寸 | 80x80mm | ||
應用 | 檢測加工 | ||
定制 | 否 | ||
工作溫度 | 常溫 | ||
直線度 | 10 | ||
可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
型號 | ANT130XY |
aerotech ANT130XY雙軸XY納米定位級平臺
我們的超精密ANT130XY載物臺采用集成的雙軸設計,可提供卓越的平面性能和出色的幾何特性。ANT130XY載物臺配備剛性、抗蠕變交叉滾子軸承、高分辨率位置反饋和無鐵芯直線電機,可實現(xiàn)最平穩(wěn)、最精確的運動,并通過超高精度2D校準進一步增強,以優(yōu)化最苛刻的檢測和制造工藝。此外,動態(tài)優(yōu)化的設計可實現(xiàn)令人印象深刻的速度和工藝吞吐量。
設計特點
增強的第二代設計
實現(xiàn)最小增量運動至 0.5 nm - 新
通過集成的 XY 設計優(yōu)化正交性、直線度和平整度
通過 ULTRA 校準選件保證 ±225 nm 或更高的二維精度
采用高精度交叉滾子軸承,具有出色的動態(tài)性能和充足的負載能力
通過無鐵芯直驅直線電機最大限度地提高過程吞吐量和可靠性
主要應用
ANT130XY非常適合需要高精度和動態(tài)定位性能的多軸應用,包括:
光子學組裝和檢查
光纖對準和優(yōu)化
光學制造、測試和檢驗
傳感器測試和認證
半導體加工和檢測
表面計量和剖面測量
研究和實驗室應用
超精密載物臺設計
ANT130XY的集成雙軸設計允許您優(yōu)化關鍵的幾何元素,如正交性,直線度和平整度,從而產生具有出色運動特性的載物臺。我們的直接驅動技術沒有滯后或間隙,可在 X 和 Y 尺寸上實現(xiàn)精確且可重復的納米級運動。ANT130XY 提供三種行程選項,范圍從 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm,所有行程均具有 85 mm 的緊湊總高度。