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明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 明電舍MEIDEN可變真空電容器 明電舍MEIDEN固定真空電容器
   
明電舍通過40年對真空斷路器的開發(fā)制造，積蓄了該領域的豐富技術經驗，成功開發(fā)制造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機器的制造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)制造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，采用了真空封閉方式進行制造，并且采用了長時間保持真空狀態(tài)的構造。其產品用于：液晶屏面板制造裝置領域，太陽能電池板制造領域，醫(yī)療?測量機器領域，半導體制造裝置領域，廣播電視播放領域，科學研究領域等官方應用于阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系統(tǒng) matching box上使用

真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實現小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無整流子結構形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復性，可以承受瞬間過電壓；
SCF-153.5H52WR
SCV-514M  5KV-1400PF
SCV-152.5
SCV-151
SCV-204
SVC-514M
SCV-520M 
SCV-205G
SCV-155M
SCF-200.5C
SCF-53Z
SCF-201C
SCF-152Z
BDS5-3040
SCF-151Z
SCV-7.55
SCF-151.5Z
SCV-520M
SCF-55Z
SCV-514M
KIU-KR DC110V 14VA
NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ
KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A
KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA
NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ
SCV-152.5 
SCV-250.8D
SCV-202D
SCV-104G
SCV-510M
SCV-1014G
SCV-151H55UW
SCV415H65UW
SCV-55FH55UW
SCV-85H55UW-NP
SCV-515G
SCV-152.5GT
SCV-152.5H55UW-C
SCV-125H65UW-C
SCV-415H65UW-C
SCV-85H55UW-C
SCV-510H55UW-C
SCV-415H55UW-C
SCF-200.5G
SCF-150.75Z
SCF-150.5Z
SCF-153.5H52WR

規(guī)格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp] 15 5 5
靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF動作電壓 [kVp] 9 3 3
直線可變性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
轉速（回） 12±1 12±1 12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回轉轉矩（N?cm）
(kgf?cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直徑） (mm)
1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73

真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路，同調回路
3 誘電加熱設備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來，由于半導體產業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設備等半導體薄膜制造設備阻抗
整合應用領域。
 
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內的電極而實現靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構造以及增強材質的大電
流低扭矩型（H系列）。

標準型特點 
1 壽命長
  采用高強度的不銹鋼風箱，實現可變范圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環(huán)。同時通過高強度特殊螺釘
構造，在可變范圍二分之一的情況下實現總回轉數1000萬以上的長壽命。
2微型化
  陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現。
  統(tǒng)一設為全長140MM（裝置標準115MM），容易實現機器安裝時的可更換性。 
 
強電流低扭矩型特點 
    強電流通電
    風扇采用銅合金新材料，可以實現強電流通電。（強電流規(guī)格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
    低扭矩
    H系列內部構造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅動馬達的微型化得以實現。
    長壽命
    采用高強度不銹鋼風箱，通過可變范圍二分之一以下的風箱壽命100萬回轉，以及高強度特殊螺釘構造，
能夠實現可變范圍二分之一的總回轉達到1500萬以上的超長壽命。
 
真空固定電容器
 
真空固定電容器的誘導體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗系數。從而使電容器即
實現了微型化，又能耐高壓和承受強大電流。
特點
  耐高壓
  由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無恙。
  低損耗
  真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現在構成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷
。
  微型化
  通過采用耐高壓的特殊電極實現微型化。
型號 峰值試驗電壓 RF動作電壓 靜電容量 最大許可容量電容 回轉行程 回轉數 尺寸
Type debion Peak test Peak working Capacitance Max. RF current Max.torque Turns Dimensions
  voltage voltage (Min.-Max.) (13.56MHz)     (Length×Diameter)
  (50/60Hz) (13.56MHz)   空冷/Air cooled      
SCV-55 5kVp 3kVp 30-500pF 100Arms 24.5N?cm 12回轉 L140×φ60mm
SCV-7.55 7.5kVp 4.5kVp 30-500pF
SCV-151 15kVp 9kVp 10-100pF
SCV-152 12-200pF
SCV-152.5 30-250pF
SCV-510M 5kVp 3kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-514M 90-1400pF
SCV-155M 15kVp 9kVp 50-500pF
SCV-520M 5kVp 3kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1010 10kVp 6kVp 80-1000pF
SCV-204 20kVp 12kVp 80-450pF
SCV-155G 15kVp 9kVp 25-500pF 90Arms 24.5N?cm 12回轉 L140×φ62mm
SCV-251G 25kVp 15kVp 10-100pF
SCV-252G 12-200pF
SCV-252.5G 25-250pF
SCV-1010G 10kVp 6kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-1014G 90-1400pF
SCV-205G 20kVp 12kVp 50-500pF
SCV-1020G 10kVp 6kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1510G 15kVp 9kVp 80-1000pF
SCV-250.3G 25kVp 15kVp 6-30pF 27Arms 19.6N?cm 5.5回轉 L100×φ60mm
SCV-250.8G 10-80pF 72Arms
SCV-300.2G 30kVp 18kVp 6-20pF 21Arms
SCV-104G 10kVp 6kVp 60-450pF 90Arms L100×φ63mm
SCV-201.7G 20kVp 12kVp 45-170pF
SCV-7.55H65 7.5kVp 4.5kVp 20-500pF 110Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ65mm
SCV-151H65 15kVp 9kVp 20-100pF
SCV-152H65 20-200pF
SCV-152.5H65 20-250pF
SCV-510H82 5kVp 3kVp 25-1000pF 130Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ82mm
SCV-105H82 10kVp 6kVp 25-500pF
SCV-154H82 15kVp 9kVp 25-400pF
SCV-202H82 20kVp 12kVp 25-200pF
SCV-202.2H84 20kVp 12kVp 15-220pF 130Arms 18N?cm 10.5回轉 L125×φ84mm
SCV-250.8H84 25kVp 15kVp 12-80pF
SCV-514H94 5kVp 3kVp 30-1400pF 150Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ94mm
SCV-107H94 10kVp 6kVp 30-700pF
SCV-155H94 15kVp 9kVp 30-500pF
SCV-202.5H94 20kVp 12kVp 30-250pF
SCV-520H110 5kVp 3kVp 35-2000pF 160Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ110mm
SCV-1010H110 10kVp 6kVp 35-1000pF
SCV-205H110 20kVp 12kVp 35-500pF
SCV-315H65G 3kVp 1.8kVp 20-1500pF 100Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ65mm
SCV-105H65G 10kVp 6kVp 20-500pF
SCV-201H65G 20kVp 12kVp 20-100pF
SCV-202H65G 20-200pF
SCV-202.5H65G 20-250pF
SCV-1010H82G 10kVp 6kVp 25-1000pF 120Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ82mm
SCV-155H82G 15kVp 9kVp 25-500pF
SCV-204H82G 20kVp 12kVp 25-400pF
SCV-252H82G 25kVp 15kVp 25-200pF
SCV-300.2H84G 30kVp 18kVp 10-20pF 120Arms 18N?cm 10.5回轉 L125×φ84mm
SCV-1014H94G 10kVp 6kVp 30-1400pF 140Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ94mm
SCV-157H94G 15kVp 9kVp 30-700pF
SCV-205H94G 20kVp 12kVp 30-500pF
SCV-252.5H94G 25kVp 15kVp 30-250pF
SCV-1020H110G 10kVp 6kVp 35-2000pF 150Arms 18N?cm 14回轉 L154×φ1
SCV-1510H110G 15kVp 9kVp 35-1000pF
SCV-255H110G 25kVp 15kVp 35-500pF

型號列舉
MEIDENSHA SCV-150.6HA55UW-C
MEIDENSHA SCV-150.75HA55UW-C
MEIDENSHA SCV-200.5H55UW-C
MEIDENSHA SCV-151H55UW-C
MEIDENSHA SCV-201H55UW-C
MEIDENSHA SCV-151.5FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-152.5H55UW-※2
MEIDENSHA SCV-83.5FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-55FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-85H55UW-C 
MEIDENSHA SCV-310H55UW-C※2 
MEIDENSHA SCV-510H55UW-C
MEIDENSHA SCV-415H55UW-C
MEIDENSHA SCV-125H65UW-C※2※3
MEIDENSHA SCV-155H65UW-C
MEIDENSHA SCV-810H65UW-C
MEIDENSHA SCV-1010H65UW-C
MEIDENSHA SCV-415H65UW-C※2※3
MEIDENSHA SCV-515H65UW-C
MEIDENSHA VP110 
MEIDENSHA VP150  
MEIDENSHA UW70 
MEIDENSHA SCV-320H65UW-C
MEIDENSHA SCV-715H70UW-C
MEIDENSHA FS36S FS36 
MEIDENSHA FS43 
MEIDENSHA FC52 
MEIDENSHA FC52A FC62 
MEIDENSHA FH48C FH65C 
MEIDENSHA FH52WR 
MEIDENSHA FHA52WR 
MEIDENSHA VP94L 
MEIDENSHA SCV-251P94L
MEIDENSHA SCV-202.2P94L
MEIDENSHA SCV-153.5P94L
MEIDENSHA SCV-350.3P110
MEIDENSHA SCV-351P110
MEIDENSHA SCV-201.5P110C
MEIDENSHA SCV-251.5P110C
MEIDENSHA VP110 
MEIDENSHA SCV-302P110
MEIDENSHA SCV-202.5P110C
MEIDENSHA SCV-252.5P110C
MEIDENSHA SCV-253.5P110
MEIDENSHA SCV-205P110
MEIDENSHA VP65 
MEIDENSHA SCV-201P65
MEIDENSHA SCV-152P65C
MEIDENSHA SCV-202P65
MEIDENSHA SCV-152.5P65
MEIDENSHA SCV-202.5P65
MEIDENSHA SCV-104P65FW
MEIDENSHA SCV-124H65FW
MEIDENSHA SCV-7.55P65FW
MEIDENSHA SCV-105P65FW
MEIDENSHA SCV-125P65DW
MEIDENSHA SCV-255P110
MEIDENSHA SCV-158P110FW 15 
MEIDENSHA SCV-1510P110W 40 
MEIDENSHA SCV-1051P110W 40 
MEIDENSHA SCV-520P110W 40 
MEIDENSHA SCV-820P110W 40 
MEIDENSHA SCV-325P110FW 15 
MEIDENSHA SCV-340P110W 45 
MEIDENSHA VP82 
MEIDENSHA SCV-155P65DW
MEIDENSHA SCV-310P65FW
MEIDENSHA SCV-410P65FW
MEIDENSHA SCV-510P65W
MEIDENSHA SCV-810P65W
MEIDENSHA SCV-315P65DW
MEIDENSHA SCV-415P65DW
MEIDENSHA SCV-202P82
MEIDENSHA SCV-155P82W
MEIDENSHA SCV-1010P82W
MEIDENSHA SCV-515P82W
MEIDENSHA SCV-520P82W
MEIDENSHA SCV-200.5P82L
MEIDENSHA SCV-250.8P82L
MEIDENSHA SCV-201P82L
MEIDENSHA SCV-251P82L
MEIDENSHA SCV-201.5P82L
MEIDENSHA SCV-202P82L
MEIDENSHA SCV-202.2P82L
MEIDENSHA SCV-103.5P82LW
MEIDENSHA SCV-84P82LW
MEIDENSHA VP150 
MEIDENSHA SCV-405P150
MEIDENSHA SCV-1525P150W
MEIDENSHA SCV-560P150W
MEIDENSHA SCV-202.5P94 25 
MEIDENSHA "SCV-155P94
SCV-515P94 ""25"
MEIDENSHA SCV-520P94W 35 
MEIDENSHA SCV-523P94W 45 
MEIDENSHA SCV-150.5
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-152
MEIDENSHA SCV-155G
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA type2 
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCV-55
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-1010G
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-1014G
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-1010
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCV-201.7G
MEIDENSHA SCV-104G
MEIDENSHA SCV-300.2G
MEIDENSHA SCV-250.3G
MEIDENSHA SCV-250.8G
MEIDENSHA SCV-151GT
MEIDENSHA SCV-152.5GT
MEIDENSHA SCV-155GT
MEIDENSHA SCV-510GT
MEIDENSHA SCV-515GT
MEIDENSHA SCV-150.75GTB
MEIDENSHA SCV-53GTB
MEIDENSHA SCF-300.25H48C
MEIDENSHA SCF-300.5H48C
MEIDENSHA SCF-300.75H48C
MEIDENSHA SCF-301H48C
MEIDENSHA SCF-351H48C
MEIDENSHA SCF-251.25H48C
MEIDENSHA SCF-251.5H48C
MEIDENSHA FHA52 
MEIDENSHA SCV-151HA52WR
MEIDENSHA SCV-151.5HA52WR
MEIDENSHA SCV-152HA52WR
MEIDENSHA SCV-153HA52WR
MEIDENSHA SCV-125HA52WR
MEIDENSHA SCV-510HA52WR
MEIDENSHA SCF-251.75H48C
MEIDENSHA SCF-252H48C
MEIDENSHA SCF-151H52WR
MEIDENSHA SCF-201H52WR 
MEIDENSHA SCF-151.5H52WR 
MEIDENSHA SCF-152H52WR
MEIDENSHA SCF-202H52WR
MEIDENSHA SCF-152.1H52WR 
MEIDENSHA SCF-152.5H52WR
MEIDENSHA SCF-153H52WR
MEIDENSHA SCF-153.5H52WR
MEIDENSHA SCF-153.7H52WR
MEIDENSHA SCF-124H52WR 
MEIDENSHA FH52 
MEIDENSHA SCF-124.5H52WR
MEIDENSHA SCF-125H52WR
MEIDENSHA SCF-105.5H52WR
MEIDENSHA SCF-106H52WR
MEIDENSHA SCF-106.5H52WR
MEIDENSHA SCF-107H52WR
MEIDENSHA SCF-56H52WR
MEIDENSHA SCF-107.5H52WR
MEIDENSHA SCF-510H52WR
MEIDENSHA SCF-810H52WR
MEIDENSHA SCF-512.5H52WR 
MEIDENSHA SCF-315H52WR
MEIDENSHA SCF-515H52WR
MEIDENSHA SCF-317.5H52WR
MEIDENSHA SCF-320H52WR
MEIDENSHA FH65C 
MEIDENSHA SCF-350.5H65C
MEIDENSHA SCF-351H65C
MEIDENSHA SCF-351.5H65C
MEIDENSHA SCF-351.75H65C
MEIDENSHA SCF-352H65C
MEIDENSHA SCF-352.5H65C
MEIDENSHA FC52 
MEIDENSHA SCF-150.5C
MEIDENSHA SCF-151C
MEIDENSHA SCF-151.5C
MEIDENSHA SCF-152C
MEIDENSHA SCF-150.5CA
MEIDENSHA FS36S 
MEIDENSHA SCF-51S
MEIDENSHA SCF-51.1S
MEIDENSHA SCF-51.2S
MEIDENSHA "SCF-51.3S
MEIDENSHA SCF-51.4S
MEIDENSHA SCF-150.8CA
MEIDENSHA SCF-150.9CA
MEIDENSHA SCF-51.5S 
MEIDENSHA SCF-52S 
MEIDENSHA FC52A 
MEIDENSHA FC62 
MEIDENSHA SCF-151CA
MEIDENSHA SCF-151.2CA
MEIDENSHA SCF-151.5CA
MEIDENSHA SCF-151.8CA
MEIDENSHA SCF-152.1CA
MEIDENSHA SCF-200.1C
MEIDENSHA SCF-200.5C
MEIDENSHA SCF-200.75C
MEIDENSHA SCF-201C
MEIDENSHA SCF-201.5C
MEIDENSHA SCF-150.1Z
MEIDENSHA SCF-150.2Z
MEIDENSHA SCF-150.25Z
MEIDENSHA SCF-200.3Z
MEIDENSHA SCF-150.33Z
MEIDENSHA SCF-150.4Z
MEIDENSHA SCF-150.5Z
MEIDENSHA SCF-150.75Z
MEIDENSHA SCF-150.8Z
MEIDENSHA SCF-150.84Z
MEIDENSHA SCF-150.9Z
MEIDENSHA SCF-151Z
MEIDENSHA SCF-151.2Z 120
MEIDENSHA SCF-151.3Z 1
MEIDENSHA SCF-151.4Z 1
MEIDENSHA SCF-151.5Z 1
MEIDENSHA SCF-151.8Z 1
MEIDENSHA SCF-152Z 200
MEIDENSHA SCF-52.5Z 25
MEIDENSHA SCF-102.5Z 2
MEIDENSHA SCF-53Z 300 
MEIDENSHA SCF-103Z 300
MEIDENSHA SCF-53.5Z 35
MEIDENSHA SCF-103.5Z 3
MEIDENSHA SCF-54Z 400 
MEIDENSHA SCF-104Z 400
MEIDENSHA SCF-55Z 500 
MEIDENSHA SCF-105Z 500
MEIDENSHA SCF-152.2 22
MEIDENSHA SCF-152.5 25
MEIDENSHA SCF-153 300 
MEIDENSHA SCF-56 600 
MEIDENSHA SCF-57 700 
MEIDENSHA SCF-58 800 
MEIDENSHA SCF-59 900 
MEIDENSHA SCF-510 1000
MEIDENSHA VP94
MEIDENSHA VP110" 
MEIDENSHA VP82
MEIDENSHA VP82L VP94L" 
MEIDENSHA VP65" 
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCV-1010
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-1010G
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCV-55
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-152
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA SCV-155G
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF
MEIDENSHA SCV-205G  （MWF034）
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCF-201C
MEIDENSHA SCF-200。5C 
MEIDENSHA SCF-55Z
MEIDENSHA SCV-250.8D
MEIDENSHA SCV-202D
MEIDENSHA SCF-153
MEIDENSHA SCV-520M 
MEIDENSHA SCV-514M   5KV-1400PF     
MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCF-150.1Z  
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-7.55 (5KV-500pF）
MEIDENSHA SCV-155M(15KV-500pF)
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCF-201C
MEIDENSHA SCV-55
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-152
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCV-1010
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-155G
MEIDENSHA SCV-251G
MEIDENSHA SCV-252G
MEIDENSHA SCV-252.5G
MEIDENSHA SCV-1010G
MEIDENSHA SCV-1014G
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCV-1020G
MEIDENSHA SCV-1510G
MEIDENSHA SCV-250.3G
MEIDENSHA SCV-250.8G
MEIDENSHA SCV-300.2G
MEIDENSHA SCV-104G
MEIDENSHA SCV-201.7G
MEIDENSHA SCV-7.55H65
MEIDENSHA SCV-151H65
MEIDENSHA SCV-152H65
MEIDENSHA SCV-152.5H65
MEIDENSHA SCV-510H82
MEIDENSHA SCV-105H82
MEIDENSHA SCV-154H82
MEIDENSHA SCV-202H82
MEIDENSHA SCV-202.2H84
MEIDENSHA SCV-250.8H84
MEIDENSHA SCV-514H94
MEIDENSHA SCV-107H94
MEIDENSHA SCV-155H94
MEIDENSHA SCV-202.5H94
MEIDENSHA SCV-520H110
MEIDENSHA SCV-1010H110
MEIDENSHA SCV-205H110
MEIDENSHA SCV-315H65G
MEIDENSHA SCV-105H65G
MEIDENSHA SCV-201H65G
MEIDENSHA SCV-202H65G
MEIDENSHA SCV-202.5H65G
MEIDENSHA SCV-1010H82G
MEIDENSHA SCV-155H82G
MEIDENSHA SCV-204H82G
MEIDENSHA SCV-252H82G
MEIDENSHA SCV-300.2H84G
MEIDENSHA SCV-1014H94G
MEIDENSHA SCV-157H94G
MEIDENSHA SCV-205H94G
MEIDENSHA SCV-252.5H94G
MEIDENSHA SCV-1020H110G
MEIDENSHA SCV-1510H110G
MEIDENSHA SCV-255H110G

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