冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率最大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢(shì)，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測(cè)試設(shè)備、太陽(yáng)能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。
冷凝泵適用介質(zhì):清水 冷凝泵適用介質(zhì)溫度:0℃ 至 120℃ 冷凝泵使用范圍
100N130和150N110型可輸送120℃以內(nèi)的液體，但其他泵輸送液溫不能超過80℃。
冷凝泵流量范圍:12-120m3/h
冷凝泵揚(yáng)程范圍:38-135 m
冷凝泵型號(hào)說明:
3N6X2和4N6A的含義
3、4-吸入管直徑(in);
N--臥式懸臂冷凝水泵;
6--設(shè)計(jì)單級(jí)揚(yáng)程被10除后取整數(shù)，即單級(jí)揚(yáng)程為60米左右;
2--級(jí)數(shù)，表示該泵有兩級(jí);
A--葉輪經(jīng)過切割(外徑減小)。
結(jié)構(gòu)說明
折疊品種
N型冷凝泵為臥式懸臂單級(jí)、兩級(jí)離心泵，共分8個(gè)品種。單級(jí)的有3N6、4N6、100N130如圖1;兩級(jí)的有2.5N3X2、3N6X2、4N6X2如圖2;單級(jí)帶誘導(dǎo)輪的有6N6、150N110如圖
折疊支承部分
支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上，滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤(rùn)滑，油量可從油標(biāo)看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時(shí)從絲孔將油放出。
折疊密封和傳動(dòng)
泵采用軟填料密封，在鈾封處裝有可更換的鈾套。泵通過彈性聯(lián)鈾器由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，從傳動(dòng)方向看，泵為逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
折疊?工作部分
單級(jí):主要件有硅黃銅80-3鑄成的葉輪通過鍵固定由45號(hào)優(yōu)質(zhì)碳素制成的軸上，葉輪裝在由耐磨鑄鐵HT20-40鑄成的泵體、泵蓋所構(gòu)成的泵工作室內(nèi)，動(dòng)力機(jī)通過聯(lián)軸器帶動(dòng)支在軸承中的軸和葉輪，泵就工作，耐磨鑄鐵HT20-40制成的軸套，與襯套(6N6和4N6X2)之間有著水潤(rùn)滑的滑動(dòng)軸承的作用，泵體后的填料函內(nèi)裝有填料環(huán)，及填料油浸石墨石棉繩，開口填料壓蓋，借助加長(zhǎng)雙頭螺栓壓緊填料，并可調(diào)整松緊,外部引入高于大氣壓的密封水，通過接管對(duì)準(zhǔn)填料環(huán)，并在整個(gè)填料函內(nèi)就形成隔絕空氣侵入泵內(nèi)的密封腔，同時(shí)阻止泵內(nèi)水向外流，僅有少量的潤(rùn)滑水滴出。在葉輪上開有平衡孔，使高壓區(qū)與進(jìn)口低壓區(qū)溝通從而消除軸向推力，為了防止磨損泵體和泵蓋，于修理,達(dá)到良好密封，在泵體、泵蓋上裝有密封環(huán)，泵體上部備有絲孔做為放氣用，停車檢修時(shí)，泵中之水從絲孔放出，為了方便泵體和泵蓋的拆卸備有起蓋螺釘(蓋、體通用)進(jìn)出口均備有測(cè)壓孔。
兩級(jí):其余與單級(jí)相同，僅泵蓋、泵體和中間導(dǎo)葉構(gòu)成兩個(gè)工作室，在兩室內(nèi)相應(yīng)裝有硅黃銅80-3鑄成的級(jí)葉輪和鑄鐵HT20-40CuMo制成的葉輪。
