L4513、L4514系列高溫?cái)U(kuò)散爐
用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化退火、燒結(jié)等工藝設(shè)備,也可做為磁性材料的燒結(jié)工藝,還可適用于機(jī)械行業(yè)的淬火、冶金業(yè)稀土的燒結(jié)工藝
全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)、真空擴(kuò)散爐、高溫?cái)U(kuò)散爐、爐體(爐管)是擴(kuò)散爐/氧化爐的關(guān)鍵部件,由于爐體壽命的限制需定期更換,我公司根據(jù)客戶要求專業(yè)設(shè)計(jì)制作3〃-8〃的擴(kuò)散/氧化爐體,具有溫度均勻性好,壽命長(zhǎng),性價(jià)比高等優(yōu)點(diǎn)RGL系列管式擴(kuò)散爐專門設(shè)計(jì)用于材料擴(kuò)散工藝,作為材料的高、中溫在氣氛環(huán)境中熱處理之用。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲,優(yōu)質(zhì)氣煉石英管作為爐膛, 可預(yù)抽真空并通入保護(hù)氣體;進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu)。具有溫度均勻控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),是理想的科研設(shè)備
采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛,具有良好的潔凈度和真空度,可拆卸式的三面密封方式,耐火、保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品,整機(jī)質(zhì)量輕、能耗低;加熱元件采用U型硅鉬(碳)棒或KANTHAL電阻絲;溫控系統(tǒng)采用日本進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、一致性。立式真空燒結(jié)爐、單、雙管臥式真空燒結(jié)爐、燒結(jié)爐、陶瓷燒結(jié)爐、鏈(帶)式燒結(jié)爐、全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)、真空擴(kuò)散爐、高溫?cái)U(kuò)散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結(jié)爐、雙工位立式真空燒結(jié)爐、陶瓷金屬化氫氣燒結(jié)爐、馬弗爐、消磁爐、、WDNI系列高精度電腦溫度控制系統(tǒng)、WDNX多功能溫度控制系統(tǒng)、全鉭玻璃絕緣子熔封爐、PFJ-2型平行縫焊機(jī)、Y80-2/ RZQ加壓檢漏臺(tái)、專業(yè)流量計(jì)、渦街流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、電磁流量計(jì)、V錐流量計(jì)、孔板流量計(jì)