上海兆茗電子科技有限責(zé)任公司優(yōu)價銷售ZETA Instruments 300MM晶圓全自動化測量
現(xiàn)貨供應(yīng),優(yōu)價銷售
ZETA Instruments 300MM晶圓全自動化測量
300mm全自動測量設(shè)備,可滿足多種測量應(yīng)用需求,如bump高度、粗糙度、蝕刻深度、膜厚和翹曲度。多模式光學(xué)可大幅縮短工藝質(zhì)量監(jiān)控的反饋時間。在同一設(shè)備上實現(xiàn)多個測量功能也省去了傳送樣品和更換設(shè)備的步驟。在一次測量中,Zeta-500系列非接觸式光學(xué)輪廓儀就可測量出高度、尺寸、粗糙度、翹曲度、反射率和厚度。Zeta-580非接觸式光學(xué)輪廓儀的高分辨率3D成像和分析能力也可以為大部分缺陷和工藝偏差的成因提供分析手段,減少了對耗時又昂貴的AFM或SEM的依賴。Zeta-500系列可測量從納米級到毫米級的樣品。
ZETA Instruments 300MM晶圓全自動化測量
產(chǎn)品特點:
人性化設(shè)計--Zeta3D軟件為數(shù)據(jù)采集和分析設(shè)計了簡單直觀的用戶界面。工程師和操作員通過簡短的培訓(xùn)就能熟練使用。
多功能一體式快速測量--這臺高分辨率3D非接觸式光學(xué)輪廓儀每次測量所需時間不到30秒??梢淮螠y量Bump高度、粗糙度、膜厚(或反射率)和翹曲度等關(guān)鍵參數(shù),而不需要反復(fù)上下片或更換不同的儀器。
專為工廠量產(chǎn)設(shè)計--Zeta-580滿足100級潔凈標(biāo)準(zhǔn),配備300mm EFEM,可裝載兩個foup,配備pre-aligner和ionizer。 Zeta3D多功能測量軟件擁有完善的全自動量產(chǎn)測量能力。
上海兆茗電子科技有限公司近期熱銷產(chǎn)品如下:
LDV-SYSTEME探頭LDV2090C
LDV-SYSTEME觸摸屏LDV4090C
LDV-SYSTEME控制板LDV8309C
KEINER轉(zhuǎn)角裝置PF-NR2311745
KEINER轉(zhuǎn)角裝置PF-1300272
SIKA流量計MD1609LHZDHH117
連接器8.0010.7900.0008
MICRO-EPSILON拉線傳感器 WDS-1000-P60-CR-P 4-6周
MICRO-EPSILON拉線傳感器 WDS-2000-P96-SR-I 4-20Mpa 5-7周
MICRO-EPSILON高速激光掃描儀 LLT2800-100 6-8周
MICRO-EPSILON拉繩位移傳感器 VVDS-2500-P85-BH-PB 6-8周
MICRO-EPSILON拉繩位移傳感器 WDS-1000-P60-SR-I 0mm~1000mm 6-8周
MICRO-EPSILON拉繩位移傳感器 WDS-1500-P60-SR-I 0mm~1500mm 6-8周