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真空泵主泵：在真空泵系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定的工藝需求的真空泵就是我們這里所講的主泵，例如我們常見的真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。而前級泵主要是用于維持某一真空泵前級壓強按照相關標準低于其臨界前級壓強的真空泵設備。例如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。③粗抽泵是指從大氣壓下開始抽氣活動，并且將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵機器。例如我們常見的真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵的一種。在維修過程中不管是何種真空泵出現(xiàn)了問題，
