[實用新型] 一種新型諧波減速結(jié)構(gòu)及諧波減速機(jī)
本實用新型涉及諧波減速機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型諧波減速結(jié)構(gòu)及諧波減速機(jī)，其中，諧波減速結(jié)構(gòu)包括：波發(fā)生器，與輸入軸連接；柔輪，可彈性變形，波發(fā)生器帶動柔輪進(jìn)行變形，柔輪與輸出軸連接；剛輪，固定設(shè)置，且位于柔輪外；其中，柔輪和剛輪之間設(shè)置有滾針，柔輪和剛輪通過滾針進(jìn)行嚙合傳動。本實用新型中，波發(fā)生器與輸入軸連接，柔輪與輸出軸連接，剛輪固定設(shè)置，波發(fā)生器帶動柔輪進(jìn)行變形，進(jìn)行減速傳動，在柔輪和剛輪之間設(shè)置有滾針，柔輪和剛輪通過滾針進(jìn)行嚙合傳動，將原先柔性齒輪和剛性齒輪之間齒嚙合的滑動摩擦轉(zhuǎn)換為滾動摩擦，有效的降低了磨損，從而提高減速機(jī)壽命，在長時間使用后，也能保持高精度的減速傳動。
[實用新型] 一種帶料激光切割設(shè)備
本實用新型提供一種帶料激光切割設(shè)備，設(shè)置于送料臺正前方，包括機(jī)架和激光切割單元，激光切割單元設(shè)置于機(jī)架中，激光切割單元包括切割組件、水平調(diào)節(jié)組件和高度調(diào)節(jié)組件，切割組件包括激光器和激光加工頭，激光器插設(shè)于激光加工頭內(nèi)，水平調(diào)節(jié)組件能驅(qū)動切割組件沿送料臺寬度方向移動，高度調(diào)節(jié)組件能驅(qū)動切割組件升降，調(diào)節(jié)切割組件在機(jī)架中的高度。本帶料激光切割設(shè)備使用無接觸式激光切割方式，具備切割精度高、割縫細(xì)、切割質(zhì)量好等優(yōu)點，同時激光切割單元還具有水平、高度調(diào)節(jié)功能，擴(kuò)展了本帶料激光切割設(shè)備的適用性，進(jìn)一步增加了本帶料激光切割設(shè)備的切割精度和切割質(zhì)量。
[實用新型] 一種晶圓邊緣檢測設(shè)備
本實用新型公開一種晶圓邊緣檢測設(shè)備。本實用新型涉及晶圓邊緣檢測技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型的晶圓邊緣檢測設(shè)備包括：檢測設(shè)備機(jī)身、邊緣檢測裝置、邊緣檢測轉(zhuǎn)動裝置、晶圓放置盒以及放置盒支撐裝置，可將晶圓放置在晶圓放置盒內(nèi)，晶圓放置盒的上下表面為透明材質(zhì)，上檢測器和下檢測器分別位于晶圓放置盒的上方和下方，邊緣檢測裝置的底部固定在邊緣檢測轉(zhuǎn)動裝置上且能夠隨著邊緣檢測轉(zhuǎn)動裝置的轉(zhuǎn)動繞晶圓放置盒轉(zhuǎn)動，通過上檢測器和下檢測器對晶圓上下表面的邊緣進(jìn)行檢測，整個檢測過程中，晶圓在晶圓放置盒內(nèi)無需移動，避免晶圓需要頻繁地被操作移動導(dǎo)致晶圓邊緣檢測設(shè)備本身對晶圓造成細(xì)微損傷，可提升晶圓邊緣檢測過程中的良品率。
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