電子信息相關(guān)發(fā)明專利或是實用新型專利有什么申請要求
[發(fā)明公布] 一種太陽能電池的制造方法
申請公布號：CN103165761A
申請公布日：2013.06.19
申請?zhí)枺?013101123860
申請日：2013.04.01
分類號：H01L31/20(2006.01)I
摘要： 本發(fā)明涉及一種太陽能電池的制造方法，步驟如下：應(yīng)用離子注入的方法將雜質(zhì)注入硅片形成PN結(jié)；淀積含有摻雜元素的二氧化硅薄膜；除去硅片上表面電極區(qū)以外的二氧化硅；在硅片上表面淀積本征非晶硅層；將硅片置于干氧環(huán)境中進行高溫擴散，使非電極區(qū)的摻雜元素逆向擴散入非晶硅層，電極區(qū)氧化層中的摻雜元素進一步向電極區(qū)擴散，同時形成表層氧化層；去除硅片表面的非晶硅層和氧化層；在硅片表面淀積氮化硅抗反射薄膜；最后燒制金屬電極。本發(fā)明通過離子注入的方式，降低了表面雜質(zhì)濃度，后通過高溫過程，使非晶硅吸收非電極區(qū)的雜質(zhì)，進一步降低了非電極區(qū)的摻雜濃度，致使電極區(qū)與非電極區(qū)的摻雜濃度差加大，提高了電池的性能。
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