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產(chǎn)品簡介
圖書館與檔案管理專利晉升正高級職稱如何出版一本獨(dú)著如何向出版社遞交書稿
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產(chǎn)品價(jià)格:¥600
上架日期:2019-10-12 15:35:07
產(chǎn)地:河南鄭州市
發(fā)貨地:鄭州
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明

    [發(fā)明公布] YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測系統(tǒng)

    YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測系統(tǒng),涉及毛細(xì)管放電極紫外光刻光源中等離子狀態(tài)檢測。本發(fā)明解決了極紫外光刻光源等離子體常規(guī)檢測方法價(jià)格昂貴,使用條件苛刻的問題,提出了YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測系統(tǒng)。本發(fā)明的毛細(xì)管的中心線與聚焦系統(tǒng)的焦點(diǎn)位于同一直線上,可見光CCD圖像傳感器設(shè)置在聚焦系統(tǒng)的焦點(diǎn)處,毛細(xì)管發(fā)出的極紫外光入射到Y(jié)AG:Ce熒光屏上,YAG:Ce熒光屏將該極紫外光轉(zhuǎn)換為可見光,并入射到聚焦系統(tǒng),經(jīng)聚焦系統(tǒng)聚焦后入射到可見光CCD圖像傳感器的光敏面上,形成光斑,可見光CCD圖像傳感器將采集到的光斑通過圖像輸出端輸入到計(jì)算機(jī)。本發(fā)明適用于極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)的檢測。

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