一、“ALARM””燈亮 a.外控保護(hù)連接未連通;停電檢查外控保護(hù)點(diǎn)及冷卻系統(tǒng). b.其他故障
二、點(diǎn)燈失敗 a.最小給定電流值過??;適當(dāng)加大給定電流值. b.電燈引燃高壓不合適, c.電極耐壓不夠,電極附近出現(xiàn)打火現(xiàn)象 d.高壓引燃單元壞 e.腔體內(nèi)去離子水不合格;換掉離子水,檢修去離子 f.燈管老化.
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