目前世界各國雖有自訂的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，但普遍還是采用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標(biāo)準(zhǔn)再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D之潔凈室規(guī)格。
表1-1 美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D潔凈室規(guī)格
潔凈室級數(shù)（Class) |
微塵粒子 | 壓力 | 溫度 | 風(fēng)速與換氣率（次/hr) | 照度lux | ||||||
| 粒子大小um | 粒子數(shù)目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 誤差值℃ | 最大MAX% | 最小MIN% | 誤差% | 層流方式0.35~0.55 m/s |
1080 ~ 1620 |
|
| 1 | ≧0.5 | ≦1 |
＞1.3 |
19.4~25 |
22.2 | ±2.8
特 殊 需 求 ±1.4 |
45 | 30 | ±10
特 殊 需 求 ±5 |
||
| ≧5.0 | 0 | ||||||||||
| 10 | ≧0.5 | ≦10 |
|||||||||
| ≧5.0 | 0 | ||||||||||
| 100 | ≧0.5 | ≦100 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦1 | ||||||||||
| 1000 | ≧0.5 | ≦1000 |
亂流方式≧20 次/hr |
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| ≧5.0 | ≦10 | ||||||||||
| 10000 | ≧0.5 | ≦10000 |
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| ≧5.0 | ≦65 | ||||||||||
| 100000 | ≧0.5 | ≦100000 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦700 | ||||||||||
| 至于209E和209D等最大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位，即潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推，其目的在于配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化。M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，而取指數(shù)為之；若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間（即非整數(shù)，則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E之內(nèi)容，前述之M字母后的數(shù)字，可從表中0.5um列的數(shù)值中求出，讀者可試算之。 |
表1-2 美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E
潔凈度等級 微塵粒子 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 單位 單位 單位 單位 單位 公制 英制 (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 - - 26500 750 10600 300 3530 100 - - M4 - - 75700 2140 30900 875 10000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 - - - - - - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 2470 70.0 M6 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - - 3530000 100000 24700 700 M7 - - - - - - 10000000 283000 61800 1750 美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D 都以英制每立方英尺為單位，而日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位；另外209D與日本JIS（B9920-1989）標(biāo)準(zhǔn)中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數(shù)為計數(shù)基準(zhǔn)，而日本則以0.1um微粒子為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等級為Class1,最差則為Class8,表1-3為日本JIS（9920-1989）之標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的粒子上限數(shù)（個/m3）。其Class1，Class2...之?dāng)?shù)目字以0.1um粒子為基準(zhǔn)，而以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10之冪次方，取其指數(shù)而得。
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）標(biāo)準(zhǔn)
粒徑\級數(shù)
Class1
Class2
Class3
Class4
Class5
Class6
Class7
Class8
0.1
101
102
103
104
105
106
107
108
0.2
2
24
236
2，360
23，600
-
-
-
0.3
1
10
101
1，010
10，100
101，000
1，010，000
10，100，000
0.5
-
-
35
350
3，500
35，000
350，000
3，500，000
5.0
-
-
-
-
29
290
2，900
29，000
